“光刻机第一股”停止IPO

芯东西7月4日报道，克日，上交所官网披露停止半导体装备企业北京华卓精科科技股份有限公司（简称“华卓精科”）的发行上市考核，缘故原由是华卓精科及其保荐人撤回发行上市申请。

顶着冲刺“光刻机第一股”的光环，华卓精科闯关科创板之路一度备受关注，其IPO拟募资7.35亿元，用于半导体装备关键零部件研发、超精密测控产品研发中心等项目。

华卓精科在2020年6月24日申请科创板IPO，2021年7月29日首次上会遇暂缓审议，同年9月17日上会通过，但以后迟迟不见提交注册稿，直至本年6月26日停止IPO。

不止是华卓精科，本年迄今已有高出十家半导体企业停止科创板IPO，这份长长的名单还包罗大连科利德半导体材料股份有限公司、得一微电子股份有限公司、合肥芯谷微电子股份有限公司、宁波奥拉半导体股份有限公司、杭州华澜微电子股份有限公司、上海芯旺微电子技能股份有限公司、苏州明皜传感科技股份有限公司、华羿微电子股份有限公司、青岛信芯微电子科技股份有限公司、山东华光光电子股份有限公司、北京晶亦精微科技股份有限公司等。

华卓精科创建于2012年5月，法定代表人是孙国华，任华卓精科总司理；实际控制人和控股股东是清华大学长聘传授朱煜，任华卓精科首席科学家。其焦点产品为纳米精度运动及测控体系，该体系是光刻机的焦点子体系之一，其性能对晶圆举行光刻时起到决定性影响，能极大提高光刻机的精度和生产服从。

在申报稿中，华卓精科称自己是“国内首家自主研发并实现纳米精度运动及测控体系商业化生产的企业”、“是国产高端光刻机龙头企业纳米精度运动及测控体系产品及技能开发的供应商”。

根据2023年12月披露的《关于北京华卓精科科技股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市申请文件第二轮考核问询函的复兴》，上交所的复兴材料显示：

（1）2017年至2020年9月，光刻机双工件台销量为0，2020年4月向上海微电子发货一台光刻机双工件台，尚未通过验收；

（2）2017年至2020年9月，公司收入构成中光刻机双工件台贩卖金额为1521.37万元、795.00万元、0万元、0万元，实际贩卖内容为技能服务与双工件台模块非双工件台自己；

（3）招股分析书披露公司重要产品包罗光刻机双工件台；

（4）公司披露的重要产品收入构成包罗精密运动体系、晶圆键合设备、激光退火设备等，但实际收入中同时包罗产品贩卖与技能服务。

上交所要求对华卓精科严酷按照实际贩卖环境先容公司主业务务及重要产品，并要求华卓精科“若无公开客观、权威依据，删除公司的干式光刻机双工件台已达到或靠近国际同类设备程度的表述”，终极华卓精科删除了干式纳米精度运动及测控体系已达到或靠近国际同类设备程度的相关表述。

别的，问询涉及到华卓精科与清华大学共有技能，包罗“2024年3月1日发行人与清华大学签署了光刻机双工件台技能转移与实验《技能转让条约书》，条约总金额为800万元及后续收益提成”。

上交所要求华卓精科披露与清华大学共有专利、专利实验允许、技能转让相关条约的条款、是否存在清华大学停止授权或授权第三方的风险，分析其产品和焦点技能与清华大学的渊源、公司重要高管及焦点技能职员的清华任职配景、现在存在与清华大学的相助研发项目等情形。

华卓精科对此的复兴长达50多页。

根据复兴，该公司与清华大学作为共同专利权人拥有的专利共计166项（此中5项专利有用期已届满），此中协议转让方式获取的专利115项、委托开发方式获取的专利30项、相助研发方式获取的专利21项，清华大学授权公司独占实验允许的专利1项。

2002年，清华大学创建IC装备研究室，重要从事超精密呆板及测控范畴的研究；2009年起，IC装备研究室负担国家科技巨大专项纳米精度运动及测控体系样机研发项目，研究团队突破并把握了超精密测控基础理论技能，开发出了纳米精度运动及测控体系研究阶段实验室原理样机，为华卓精科创建后开展纳米精度运动及测控体系产业化奠定了理论和技能基础。

2012年4月，在清华大学支持下，北京清华工业开发研究院与IC装备研究室焦点团队共同协商决定设立华卓有限。

清华大学呆板工程系IC装备研究室成员朱煜、徐登峰、张鸣、杨开明、尹文生、胡金春、穆海华、成荣通过华卓精密及艾西精创两个持股平台间接持有华卓有限股权，后于2014年通过股权转让直接持有华卓有限股权。

在华卓有限设立初期，IC装备研究室部分项目条约制职员在与清华大学清除劳动条约后参加了华卓有限的研发职员队伍。

截至问询函复兴之日，清华大学职员在华卓精科处共5人，此中兼职职员5人，分别为朱煜、张鸣、杨开明、成荣、李鑫，华卓精科在技能研发和生产谋划运动中均已创建了独立于清华大学的自有团队。

朱煜、张鸣、杨开明3人取得清华大学兼职批复在华卓精科处担当技能咨询顾问类工作，为华卓精科研发过程中的重点困难研发题目提供理论性引导，3人均不直接参加华卓精科的一样平常技能开发工作。

成荣已取得清华大学兼职批复在华卓精科处担当董事，李鑫已得到清华大学兼职批复，其重要对华卓精科贩卖提供咨询顾问服务。

除朱煜、张鸣2名兼职焦点技能职员外，华卓精科尚有3名专职员工担当焦点技能职员，一样平常大量技能开发工作均由专职技能研发团队职员自主完成。

历史上，华卓精科与清华大学在纳米精度运动及测控体系范畴的部分研发项目上举行了产学研相助，在相助研发项目中由华卓精科作为主导方，重要负责项目的工程化研究及产业化开发。

在客岁1月提交多个复兴文件之后，华卓精科再无新问询与复兴文件披露。苦熬四年的科创板IPO路，终极铩羽而归。