美国施压之下，荷兰将禁止ASML对在华高端DUV设备维护？

8月29日消息，最新的业内消息表现，荷兰当局筹划限定ASML在中国维修半导体设备的本领，这或将对于中国提升先辈制程制造本领的积极造成打击。

据熟悉底细的人士透露，在ASML某些在中国提供服务和备件的许可证于今年年底到期后，荷兰宰衡迪克·肖夫当局很可能不再为其续期。这一决定预计将涉及该公司的高端深紫外光刻（DUV）设备。

AMSL是环球最大的半导体设备供应商，同时也是环球最大的光刻机供应商。此类设备供应商在贩卖设备时都附带了维护协议，这对设备的正常运行至关告急。因此，如果取消这种支持，可能会导致至少部分设备最快在来岁就无法运行。

据称，荷兰当局的决定是在美国施加肯定压力后做出的。美国拜登当局的一位高级官员说，如果这些友邦差别意在对华管制上与美国保持划一，美国当局可能将对友邦实施某些单边措施，包罗所谓的“外国直接产物规则”（FDPR）。

FDPR将使得美国可以或许对外国产物实施“长臂管辖”。纵然是在美国境外生产的特定物项，如果开发或制造直接利用了哪怕是最少量的美国特定受管控的软件或技术，则该物项也将受到出口管制管辖。此前该规则仅被用于少数被美国商务部列入“实体清单”的企业。

现在，除美国外，荷兰、日本和韩国是环球最告急的芯片制造设备生产国。此前就曾有报道称，拜登当局威胁利用 FDPR 规则来让这些友邦参加对华半导体出口管制。

固然，荷兰前宰衡马克·吕特（Mark Rutte）领导下的荷兰当局反抗了美国要求增长对于半导体设备售后服务限定的压力，认为必要更多时间来评估高端芯片制造设备出口禁令的影响。

但是，在今年7月荷兰新宰衡迪克·肖夫上台后，情况发生了改变。由这位荷兰前国家安全部分首脑迪克·肖夫领导的新当局已经表明确对中国的鉴戒态度。

迪克·肖夫在本月接受采访时表现，荷兰在与中国当局就国家安全问题举行会商时必须"非常审慎"。

当被问及荷兰当局今年是否思量接纳新的出口管制措施时，迪克·肖夫说，荷兰当局与美国和日本举行了"良好的会商"，并盼望会商"以良好的效果告终"。

固然荷兰当局此前于2023年6月尾颁布的有关先辈半导体设备的额外出口管制的新条例，但该政策于2023年9月1日才正式见效。这些新的出口管制条例重要针对的对象为先辈的芯片制造技术，包罗先辈的沉积设备和浸没式光刻体系。只管云云，ASML依附已有的许可证，仍可以或许答应其在2023年底前继承将NXT:2000i 和更先辈的DUV光刻机出口到中国大陆。

因此，在荷兰的限定政策真正发挥效力之前，中国厂商已经入口了不少先辈的DUV光刻机。固然7nm以下的先辈制程工艺必须要用到EUV光刻机才拥有充足的效率、良率和经济效益，但是利用先辈的DUV光刻机通过多重曝光工艺，也依然可以或许做到7nm，乃至是更先辈的5nm制程，固然会带来效率、良率的低下，以及本钱的大幅提高。

即便云云，美国也盼望继承封堵住中国大陆通过利用已有的先辈的DUV设备的来实现先辈制程方面技术突破的积极。因此，美国盼望通过限定ASML对于中国大陆已经有的先辈的DUV光刻机提供售后维护服务，来到达瘫痪这些已有的先辈DUV光刻机，从而进一步限定中国先辈制程工艺的目标。

值得注意的是，ASML首席财政官罗杰-达森（Roger Dassen）在7月份的财报后电话会议上告诉分析师，只管一些（中国大陆）工厂面对更严格的限定，但该公司仍有员工在中国客户的工厂工作。相比之下，由于美国的出口管制，美国公司已经不得不撤走为中国最高端芯片设备提供服务的员工。

AMSL前CEO Peter Wennink客岁曾夸大，“这些（限定）只适用于数量有限的（DUV）体系。但我们可以安装它们。我们出售的任何其他体系，我们都可以安装并提供服务。”因此，这些限定“不会对ASML的2025年至2030年的财政状态产生巨大影响，由于受影响的中国工厂数量有限”。

据芯智讯相识，ASML的浸没式DUV光刻机固然现在已经黑白常成熟的设备，其中关键的DUV光源除了ASML美国子公司Cymer之外，日本的GIGAPHOTON也可以供应，但日本的新的出口管制政策好像有限定。另外在关键的镜头方面，重要是德国的蔡司供应，因此这部分的维护和更换也可以或许办理。不外，仍有一些零部件是只有美国泉源，比如工件台、共同工件台定位对准的激光部件，都是纯美国的产物。

固然ASML现在在中国有一个维修中央，部分零部坏了可以举行本地维修。但是如果修欠好，必要更换，那么只要是受限的美国泉源的零部件，又没有其他的供应泉源替换，这就意味着该破坏的零部件无法得到更换。唯一可行的方案，可能就是到一些二手设备上拆对应的零部件来更换了。固然，可能部分厂商之前有囤积一些零部件备件的库存，但这并非长期之计。

如果荷兰当局在美国压力之下停止向ASML发放许可证，那么ASML对于在华高端DUV设备的售后维护将会彻底受限。

根据ASML的财报表现，2023整年，ASML的净贩卖额为276亿欧元，其中56亿欧元来自于已安装的设备维护服务，占比20.29%。而中国大陆在ASML的净体系贩卖当中的占比约29%。如果按照该比例盘算的话，2023年ASML来自中国的设备维护服务收入约为16.24亿欧元。不外，受限的高端DUV设备的售后维护服务营收在当中的占比可能也只占一部分。

编辑：芯智讯-浪客剑