半导体工业皇冠上的明珠！光刻机财产链上市公司梳理

财联社4月1日讯（编辑 旭日）半导体芯片板块近期表现强势，光刻机分支的概念龙头张江高科3月期间一度八天四板，当月累计最大涨幅达60%。上周五公告获大基金二期投资的晶瑞电材本周一录得20cm涨停，公司此前在互动易上表现现在拥有成系列的光刻机五台，用于光刻胶的研发。

别的，商务部部长王文涛克日访问荷兰阿斯麦公司举世总裁温宁克，两边还就阿斯麦在华发展等议题举行了交换。

据悉，光刻机作为半导体装备三大件之一，是人类文明智慧的结晶，被誉为“半导体工业皇冠上的明珠”。

公开资料表现，光刻机是芯片制造中光刻环节的核心装备，技能含量、代价含量极高。它采取类似照片冲印的技能，把掩模版上的精致图形通过光线的曝光印制到硅片上，颠末十余代的发展迭代，现在开始进光刻机单次曝光可以做到低于5nm的分辨率。

根据举世半导体装备市场规模估算，2021年举世光刻机市场规模为181亿美元，预计2022年将到达201亿美元。举世光刻机前三大厂商的市场份额占比达90%以上，根据前三大厂商的贩卖数据表现，2015-2021年,举世光刻机贩卖量总体增长，2021年达478台。

光刻机市场会合度高，ASML、Nikon、Canon市场占据率凌驾90%，此中ASML由于其技能领先，把持了EUV光刻机，独占75%的市场份额，Nikon与Canon分别占据13%和6%的市场份额。ASML的光刻机技能在举世处于绝对领先职位，EUV范畴ASML市占率为100%，ArFi、ArF范畴市占率分别高达96%、88%。

国内光刻机财产起步较晚，与外洋详细差距显着。1977年，清华大学细密仪器系、中科院光电所、中国电子科技团体公司第四十五研究所（简称中电科45所）等先后投入研制光刻机。我国也时隔近十年，研制出了具有肯定代表意义的光刻机——打仗式光刻机GK-3型半自动光刻机。

光刻机财产链重要包罗上游装备及配套质料、中游光刻机体系集成和生产及鄙俚光刻机应用三大环节，技能极为复杂，涉及体系集成、细密光学、细密活动、细密物料传输、高精度微环境控制等多项先辈技能，部门机型所需的零部件更是多达数十万件，因此光刻机的生产通常涉及上千家供应商。

此中，光刻机上游国内代表企业包罗福晶科技、奥普光电、南大广电、容大感光、华润微、精测电子、芯源微、菲利华、清溢光电、茂莱光学、美埃科技等。

别的，据财联社不完全整理，近期在互动易平台复兴光刻机相干业务的上市公司包罗赛微电子、大族激光、炬光科技、张江高科、团结光电、晶瑞电材、英唐智控、美迪凯、同兴达等。

（财联社 旭日）