复享光学AR-Meta初次实现超构透镜全面光学量测分析

克日，上海市科委“良好技能带头人”操持的多个项目完成专家评审。该操持旨在选拔和造就一批进入天下科技前沿的学术带头人和引领产业技能创新的技能带头人，促进其创建高程度科研梯队和创新团队，加速创建具有环球影响力的科技创新中心。此中，由复享光学负担的“超透镜检测分析装备的研制”项目通过专家组评审，顺遂结项。

复旦大学资剑传授、石磊传授、香港都会大学蔡定平(Din-Ping Tsai)传授、中山大学董建文传授和哈尔滨工业大学(深圳)肖淑敏传授及其团队直接到场了装备的研发工作。该项目初次实现了超构透镜的全面量测分析，相干结果已发表于国际着名光学期刊。

蔡定平传授是微纳光子学范畴的顶尖专家，是超构透镜的先行者和推动者。他以为，超构透镜是光学行业的突破性产物，将改变我们看天下的方式，具有巨大的应用远景。当前正处于超构透镜量产的关键时期，诞生于单透镜检测的传统技能已无法实用于晶圆级超构透镜检测需求。该项目所开辟的“干涉成像相位丈量技能”有望成为未来晶圆级超构透镜检测的首选方案。

相位：超构透镜的本质

透镜在生存中扮演着举足轻重的脚色，广泛应用于手机、相机、眼镜、显微镜、投影仪等装备。随着智能期间的到来，无人机、VR/AR假造实境等装备中也须要用到光学模组，对透镜的体积、功能、光学参数、成像质量提出了更高的要求。

超构透镜(Metalens)是随着微纳制程工艺的进步和超构外貌的研究发展而诞生的一种新型透镜，突破了原有质料的物理极限。它由微米或纳米布局单位有用分列构成，具有平面化、小型化、集成化等上风，被视为下一代光学模组的核心元件。

晶圆级超构透镜

图片泉源：Metalenz官网；2020,(1), 55.

超构透镜的工作原理是调控光波的相位分布，从而实现对光波波前的利用。

然而，由于质料和加工工艺的限定，超构透镜现实调控的相位分布与操持的相位分布二者之间存在的差别将影响其光学性能。因此，对现实调控的相位分布举行全方位的表征和分析至关告急。

任何光学元件的工作原理都是对波前相位的调控

图片泉源：2021,(1), 52-63.

AR-Meta 超构透镜光学检测的智能化平台

2019年，复享光学从超构透镜的操持原理出发，对其光学检测过程开展体系性的分析，在“上海市良好技能带头人”项目标支持下，面向超构透镜、超构外貌、微透镜阵列、DOE等新型微纳器件的光学检测，开辟了第一代AR-Meta光学检测体系，并乐成推向市场。

颠末四年的技能迭代，AR-Meta实现了对三维光场和相位分布全方位的光学检测，并已形成面向前沿科学研究和晶圆级检测的系列产物，构建了“超构透镜光学检测的智能化平台”。这将促进形成尺度化的检测规范，为优化超构透镜的操持、加工工艺提供关键支持。

AR-Meta应用范畴

AR-Meta 助力微纳光子学的科研创新

在环球微纳光子学范畴，AR-Meta超构透镜光学检测体系已服务中科院、复旦大学、中山大学、同济大学、西湖大学、香港都会大学、韩国光云大学等相干课题组，研究结果已发表于多个高程度学术期刊。

AR-Meta可以大概定量、可视化地表征超构透镜在空间上的多维光场调控本事。它接纳了宽波段色差校正、消像差等光学操持，可在微米尺度实现可见-近红外透反射光谱成像，便捷地获取焦距、波相差、泽尼克像差、点扩散函数(PSF)、调制转达函数(MTF)、斯特列尔率、数值孔径等关键性能指标参数。

AR-Meta表征超构外貌的光场分布

图片泉源：韩国光云大学 Sang-Shin Lee 传授等2019,(9), 1801337-1801346.

AR-Meta表征超构透镜的相位分布

图片泉源：2021,(1), 52-63.

第一代AR-Meta产物交付

图片泉源：中科院西安光机所，2019.8.30

AR-Meta 赋能晶圆级制造与检测

比年，AR-Meta一连深入产业，不停提拔技能成熟度、拓展检测应用场景，已服务于多家光子芯片、AR/VR等范畴的先锋企业。

复享光学信任，光场和相位检测技能可以大概为超构透镜的操持改进、加工工艺优化、缺陷控制、高通量检测、品控保障等关键环节提供资助，一连进步加工精度、提拔产物良率，并终极促进超构透镜产业化进程。

超构透镜的产业代价链

迄今为止，超构透镜技能所取得的渴望表明，它在光学、成像和表现体系的一连发展方面具有广阔的应用远景。而且，超构透镜可以在与盘算机芯片雷同的制造厂中制造，有望在不久的未来实现规模性量产。超构透镜及其光学模组将为光通讯、安防、智能驾驶、斲丧电子、医疗、科学仪器、传感等范畴带来颠覆性的改变，而AR-Meta将成为超构透镜研发和制造过程中的配套保障，在光学量检测中发挥至关告急的作用。

图片泉源：https://news.harvard.edu/gazette/story/2018/01/ground-breaking-lens-focuses-entire-spectrum-of-light-to-single-point/；2016,(6290), 1190-1194.

关于复享光学

复享光学是深度光谱技能的创导者，历时十年，深耕微纳光电子范畴，发展智能化全光谱技能，着力于光子学与人工智能的融合，形成了国际领先的深度光谱技能平台，向市场提供从技能到产物，从模块到体系的全面办理方案。

通过建立对接产业需求的“上海微纳制程智能检测工程技能研究中心”，并与复旦大学共建致力于研究微纳制造前沿共性关键技能的“复旦大学光检测与光集成校企团结研究中心”，复享光学形成了多条理的研发平台，以深度相应市场需求，一连推出突破性的产物。

复享光学已拥有国表里超3000家优质客户，并与超170家半导体、高端质料、生物医药企业形成互换与相助，与客户一起，致力于实现科学技能创新，推动微纳制造产业发展。

参考文献：

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